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测量装备
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复杂零件
高效精密三坐标测量机Power Blade
Power Blade测量机装配自主知识产权的“准正”控制器和DAYUMETRIC软件,突破运动机构几何误差、复杂曲面接触运动扫描误差、空间曲线测针半径补偿误差、数据处理和形状分析精度和叶缘形状判断量化标准五大关键技术,提供叶片/叶盘高效高精测量的完整解决方案。
面向复杂曲面零件高精高效测量专机
独创精度误差补偿技术
符合航空工业标准
系统精度优于2.5+2.5L/1000微米
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面向3C行业的
高精度光学三维形貌测量仪
快速精准实现三维形貌、截面轮廓、GD&T尺寸、粗糙度、2D图像尺寸测量等一系列分析功能,提供全栈式测量方案。
实现测量软件、控制器等核心技术自主可控
拥有国外最高等级测量设备的精度,但成本显著降低
综合测量精度0.8μm
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面向IC行业的
高精度晶圆综合测量仪
用于晶圆厚度、TTV、Bow、Warp、RST、wafer上薄膜厚度、3D形貌、BUMP、关键尺寸、粗糙度等参数测量,整体设备模块化定义并可满足客户个性化定制需求。
实现测量软件、控制器等核心技术自主可控
相较国外主流设备,测量功能及精度相当,价格显著降低
形成半自动、全自动两款产品
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