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测量装备

复杂零件

高效精密三坐标测量机Power Blade

Power Blade测量机装配自主知识产权的“准正”控制器和DAYUMETRIC软件，突破运动机构几何误差、复杂曲面接触运动扫描误差、空间曲线测针半径补偿误差、数据处理和形状分析精度和叶缘形状判断量化标准五大关键技术，提供叶片/叶盘高效高精测量的完整解决方案。

面向复杂曲面零件高精高效测量专机

独创精度误差补偿技术

符合航空工业标准

系统精度优于2.5+2.5L/1000微米

面向3C行业的

高精度光学三维形貌测量仪

快速精准实现三维形貌、截面轮廓、GD&T尺寸、粗糙度、2D图像尺寸测量等一系列分析功能，提供全栈式测量方案。

实现测量软件、控制器等核心技术自主可控

拥有国外最高等级测量设备的精度，但成本显著降低

综合测量精度0.8μm

面向IC行业的

高精度晶圆综合测量仪

用于晶圆厚度、TTV、Bow、Warp、RST、wafer上薄膜厚度、3D形貌、BUMP、关键尺寸、粗糙度等参数测量，整体设备模块化定义并可满足客户个性化定制需求。

实现测量软件、控制器等核心技术自主可控

相较国外主流设备，测量功能及精度相当，价格显著降低

形成半自动、全自动两款产品

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